供應23制作平行曝光機的原理是什么|西鄉高精度平行曝光機廠家

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平行曝光機第一品牌【大川光電，黃先生，13682302959】深圳市大川光電設備有限公司于2010年研發制造出第一臺UV-LED平行曝光機，經過實際測試曝光機均勻度，光線平行度、曝光能量等技術參數均優于傳統貢燈光源平行曝光機。
　　
　　平行曝光機能夠統成功地應用于半導體制造，它的光源是300kg，使用性強，小編來講講平行曝光機的特點：
　　機房要能承受500kg/m3以上重量。
　　壓縮空氣(C.D.A)：0.5Mpa，400nl/min
　　熱排氣：15m3/min
　　裝置外觀：本體：2000×1055×1820mm
　　真空：-0.08Mpa，60nl/min
　　制作平行曝光機的原理：在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。它可以適合于制造高密度線路板;冷光源(無紅外線，有利于底片保護);高抽真空度，適合于制造細線條;4個角抽真空非常均勻;機內集成了‘故障診斷系統’;曝光室內用經100級過濾的潔凈空氣產生正壓，有效防止灰塵進入;獨立的燈源空氣冷去系統。
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公司名稱：深圳市大川光電設備有限公司
高精度平行曝光機：　　
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